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2XZ系列旋片式真空泵使用時的注意事項

更新時間:2022-12-21   點擊:154次

1.2XZ系列旋片式真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。
2.正確地選擇真空泵的工作點,每種泵都有一定的工作壓強范圍。如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,抽泡旋片式真空泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。

2XZ系列旋片式真空泵

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